高頻感應淬火設備的加熱電源頻率大于lookHz，通常使用100~300kHz。高頻感應加熱電源有兩種，即電子管高頻振蕩電源和晶體管MOSFET高頻電源。前者是20世紀60年代的產品，正逐漸被后者取代。

電子管高頻振蕩電源。

電子管高頻感應淬火設備振蕩電源又稱電子管高頻發生器，將電網三相工頻變流電轉化為單相高頻電流電源，頻率為100~500kHz。

(1)電子管高頻發生器的電路結構和主電路。電子管高頻發生器通過升壓變壓器A將電網三相380V交流電壓升至lokV，提供高壓整流電路B。整流后的高壓直流電(6-15kV)通過濾波器提供電子管振蕩電路C，然后獲得=200~300kHz的單相高壓高頻電流，降壓后提供負載。

(2)振蕩電路的工作原理，由三極管G、電容器CK、線圈Li三部分組成。電子管并聯在振蕩電路中，起到自動開關的作用。當高壓直流電應用于三極管G的陽極和陰極時，如果此時在柵極上施加足夠大的負電壓，使陽極電流停止，三極管停止工作振蕩停止；當柵極負電壓被移除時，產生陽極電流，三極管開始工作，振蕩開始。高頻電流是電子管振蕩器的變頻原理。

由于電子管高頻振蕩器電效率低(約50%)、體積大、耗水量大、操作安全性差等缺點，已逐漸被晶體管高頻電源所取代。然而，一些設備仍然用作表面淬火加熱電源。